【招标公告】接触式365nmUVLED双面硅晶圆曝光机
【招标公告】接触式365nmUVLED双面硅晶圆曝光机：本条项目信息由剑鱼标讯陕西招标网为您提供。登录后即可免费查看完整信息。
基本信息
| 地区 | 陕西 西安市 | 采购单位 | 西安交通大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 接触式365nmUVLED双面硅晶圆曝光机 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 项目名称 | 接触式365nm UV LED双面硅晶圆曝光机 | 项目编号 | XJD2026072700010 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2026-07-27 17:35:24 | 公告截止日期 | 2026-07-31 12:00:01 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后90天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | 陕西省西安市雁塔区**** | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单 1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 接触式365nm UV LED双面硅晶圆曝光机 | 1.00 | 无 |
| 品牌 | 不限 |
|---|---|
| 型号 | 不限 |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | 技术要求： 1、标准基片：4/6 英寸（φ100mm/φ150mm）； 2、标准掩模版：5/7 英寸（125mm×125mm/175mm×175mm）； 3、有效曝光面积：160mm×160mm； 4、对准台提供基片X、Y、Z、θ四个方向的运动，工作台X/Y 行程：±5mm；Z 升降行程：8mm；θ 旋转范围：±5°； 5、X、Y、θ向使用微分头实现手动精确对准； 6、Z向系统精密线性滚珠轴承导向、电机驱动、三点找平，实现微分离机构的自动控制，减小片与版在分离接触时的漂移； 7、底部对准精度：±3μm（4英寸标准抛光片，胶厚≤1μm，标记清晰完整）； 8、CCD连续变倍成像系统； 9、曝光光源：365nm UVLED，配套水冷散热； 10、曝光面积：160mm×160mm； 11、光强：≥40mW/cm²； 12、曝光不均匀性≤±4%； 13、曝光时间 0~999.9s 可调； 14、曝光分辨率：1μm（4寸标准抛光片，真空接触、正胶、胶厚≤1μm）； 15、底部显微镜放大倍率：300×； 16、底部显微镜物镜分离量：55mm～130mm； 17、电气控制系统：采用工控机进行电气控制和图像处理，具有运行状态提示，便于用户操作。对采集图像信号进行数字滤波，抑制图像噪声，增强图像灰度对比度，对准标记图像采用亚像素级插值细分定位算法处理，使标记达到亚像素级定位精度，从而保证对准精度和效率。 18、整机功率：≤3KW； 19、整机重量：≤500Kg。 |
| 售后服务 | 交付、质保及售后 （一）交货期：90天 交付地点：买方指定地点 （二）安装调试与技术培训 供货商负责仪器设备的安装、调试及完成后的现场培训，须提供完整的设备操作、保养说明书、系统操作手册，安排专业人员完成安装调试、技术支持，为买方单位提供设备的正常使用、维护保养、故障分析排除、操作安全及紧急处理程序等现场培训，确保买方相关人员达到熟练掌握设备安全操作和正确使用的技能，达到正确检修、维护和排除故障的水平。 （三）质保及售后 1. 质保期1年。 2. 提供系统发生故障后 2 小时内给予答复，紧急问题在48 小时内到达现场给予售后服务。 3. 保修期结束后，实行终身维修服务，设备如有损坏，将收取更换的零配件成本费用。 4. 技术服务工程师为用户提供技术支持。用户可以通过各种联络工具，随时免费获得本公司的各种咨询。 |
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