【招标公告】教学用光刻匀胶设备
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基本信息
| 地区 | 陕西 西安市 | 采购单位 | 西安交通大学 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 教学用光刻匀胶设备 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
| 项目名称 | 教学用光刻匀胶设备 | 项目编号 | XJD2026070800008 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2026-07-08 18:20:58 | 公告截止日期 | 2026-07-12 12:00:00 |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求 | 合同签订后40天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | 陕西省西安市长安区**** | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
采购清单 1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
|---|---|---|---|
| 教学用光刻匀胶设备 | 1.00 | 套 | 无 |
| 品牌 | 不限 |
|---|---|
| 型号 | 不限 |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | 此项目包含教学用光刻机1台，教学用匀胶机1台，技术参数如下： 一、光刻机： 1．曝光类型：单面； 2．曝光面积：≥110×110mm； 3．曝光照度不均匀性：≤3%； 4．曝光强度：≥40mw/cm2可调； 5．紫外光束角：≤3˚； 6．紫外光中心波长：365nm； 7．紫外光源寿命：≥2万小时； 8．曝光分辨率：≤1μm； 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10．显微镜扫描范围：X：≥±40mm Y：≥±35mm； 11．对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调±15°，细调±3°； 12．套刻精度：≤1μm； 13．分离量；0～50μm可调； 14．接触－分离漂移：≤1μm； 15．曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； 16．找平方式：三点式自动找平； 17．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜0.75X～5X 连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器； 18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19．基片尺寸：φ2、φ3、φ4、“碎片”； 20．基片厚度：≤5 mm； 21．曝光定时：0～999.9秒可调； 22．曝光头转位：气动； 23. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW； 24．洁净空气压力：≥0.4MPa； 25．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 26. 配置：包括LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、 附件。 26.1．曝光头： LED紫外曝光头一台。 26.2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、不低于19″液晶监视器一台、图像处理软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）扫描机构一套； 6）LED同轴照明光源二台。 26.3．对准工作台： 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、“碎片”承片台各一件； 3）三点找平机构一套； 4）切期曼对准机构一套； 5）微分离机构一套；6）旋转机构一套。 26.4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）LED曝光头电源一台； 3）定时器一台； 4）电磁阀及控制系统一套； 5）气动、真空仪表一套； 6）控制台一套。 26.5．附件： 1）真空软管； 2）电磁阀二只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 26.6．技术资料： 1）使用说明书； 2）合格证。 二、匀胶机： 1. Wafer芯片尺寸范围：不低于10-150mm； 2. 转速范围：不低于0-12,000rpm； 3. 旋涂加速度：≥ 12,000rpm/sec； 4. 马达旋涂转速稳定性能误差：≤±1%； 5. 工艺时间设定范围：不低于1-5999.9 sec/step ，精度≤0.1s； 6.可编程控制； 7. 可存储程序段数：≥ 20个，每个程序段可设置不同步骤的速度状态≥ 51个； 8. 分辨率：≤1RPM，重复性误差：≤1RPM； 9. 配套真空泵浦； 10.配套真空托盘10-150 mm； 11. 可更换的废液接收单元≥2套； 12.配备免费的操作软件，终身免费升级； 13.配水平测试仪； 14.配置 14.1 匀胶机主机 14.2 真空泵 14.3 真空托盘 不低于2套； 14.4 安装文档 三、其他技术需求 1.万级不锈钢无尘工作台：≥3.8m*3.5 m*2.5 m； 2.气瓶：≥2个，体积≥40L，配减压阀、吹尘枪、气瓶固定架； 3.光刻胶：250毫升美国microchem SU-8-3025≥1瓶、250毫升美国microchem SU-8-3050≥1瓶； 4.显影液：4升 SU-8 Developer≥1桶； 5. 配品牌台式电脑2台：英特尔Core i7 CPU处理器，16G 内存， 1T固态硬盘，Win11 64 位专业版系统操作系统，24 寸液晶显示屏。 |
| 售后服务 | 一、光刻机 交付： 合同签订后40日内，货物运送至西安交通大学指定地点，乙方派员安装、调试，乙方负责免费对甲方操作、维修人员和有关的工艺技术人员进行操作培训、维修培训、设备保养培训，不少于6人次，使之完全掌握全部使用技术，以便使甲方人员正常地使用、维修保养设备，并提供设备操作教学视频。免费提供操作软件，且软件终生免费升级。 质保及售后： 货物须采用优质材料及先进工艺制造，全新未使用，且完全符合合同约定的质量、规格及性能标准。质量保证期为：产品在甲方安装及调试验收合格后不低于 24个月。质保期内正常操作使用的情况下，因设备质量问题引起的故障，乙方免费维修。质量保证期内，乙方应在接到甲方维修通知后48小时内派人至甲方维修。质量保证期以外的维修乙方只收取成本费，且不超过市场售价8折。 二、匀胶机 交付： 合同签订后40日内，货物运送至西安交通大学指定地点，乙方派员安装、调试，乙方负责免费对甲方操作、维修人员和有关的工艺技术人员进行操作培训、维修培训、设备保养培训，不少于6人次，使之完全掌握全部使用技术，以便使甲方人员正常地使用、维修保养设备，并提供设备操作教学视频。 质保及售后： 货物须采用优质材料及先进工艺制造，全新未使用，且完全符合合同约定的质量、规格及性能标准。质量保证期为：产品在甲方安装及调试验收合格后不低于12个月。质保期内正常操作使用的情况下，因设备质量问题引起的故障，乙方免费维修。质量保证期内，乙方应在接到甲方维修通知后48小时内派人至甲方维修。质量保证期以外的维修乙方只收取成本费。 |
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